|
ȼº µ¿Åº Áö¿ªÀÇ »ï¼ºÀüÀÚÀÇ EUV(±ØÀڿܼ±) Àü¿ë¶óÀÎ Áõ¼³ ÇöÀå. ÀÌ °ø»ç¿¡ ÅõÀԵǴ ÀοøÀº ÀÏ ÃÖ´ë 8¸¸¿©¸í °¡·®ÀÌ´Ù. Àα٠±¹³» ÃÖ´ë ¹ÝµµÃ¼ °øÀåÀÎ »ï¼ºÀüÀÚ ÆòÅÃÄ·ÆÛ½º´Â ÇöÀç ´ë´ç 2õ¾ï¿ø¿¡ ´ÞÇÏ´Â EUV(±ØÀڿܼ±) Àü¿ë¶óÀÎ Áõ¼³¿¡ ¼Óµµ¸¦ ³»°í Àִµ¥ ÁÖ·Î 45¼¼ ÀÌÇÏÀÇ ÀηÂÀ» °í¿ëÇØ Áö¿ª°æÁ¦°¡ È£°æ±â¸¦ ¸Â°í ÀÖ´Ù. /»çÁø Á¦°ø=»ï¼ºÀüÀÚ |
25ÀÏ Ã¢¿ø½Ã ¿ëÈ£µ¿ÀÇ Ä«Æä. ÇÑ Ã»³âÀÌ "Á¦ÁÖµµ¿¡¼ ÇÑ 6°³¿ù ÀÏÇÏ°í 1õ500¸¸¿øÂë ¹ú¾ú´Â±â¶ó. ±×·±µ¥ ±× ÀÏÀÌ °è¼Ó Á» ÀÖ¾úÀ¸¸é ±Ý¼¼ Â÷µµ »ç°í ÇßÀ» ³¤µ¥¡¦"¶ó ¸»Çß´Ù. ±×´Â Ä£±¸µé¿¡°Ô Ä¿ÇÇ ÅÎÀ» ³»°Ú´Ù¸é¼ ¾à°£Àº ÀÚ¶û½º·´°Ô ¸»Çß°í Ä£±¸µéÀº ±×·± Ä£±¸¸¦ ºÎ·¯¿î µí ¹Ù¶óºÃ´Ù.
ÀÌó·³ ÀÏÀÚ¸®°¡ ÀÖ´Â, ¾Æ´Ï ³ÑÄ¡´Â µµ½Ã·Î °æ±âµµ ȼº½Ã°¡ ²ÅÈù´Ù. Àα¸ 100¸¸8õÀÇ È¼º½Ã´Â »ï¼ºÀüÀÚÀÇ µµ½Ã´Ù. Á¤È®È÷ ¸»ÇØ »ï¼ºÀüÀÚ¸¦ Ç°Àº µµ½Ã¶ó ºÒ¸°´Ù.
¡ß Æø¹ßÀûÀ¸·Î Áõ°¡Çϴ ȼº½Ã Àα¸
ȼº½Ã Àα¸´Â 2018³â ÀÌÈÄ µ¿Åº½Åµµ½Ã°¡ º»°Ý °³¹ßµÇ¸é¼ Æø¹ßÀûÀ¸·Î Áõ°¡ÇÏ°í ÀÖ´Ù. 2014³â Àα¸´Â 54¸¸1õ¸í, 2023³âÃÊ¿¡´Â 94¸¸4õ¸í, µåµð¾î 12¿ù ¸» 100¸¸63¸íÀ» Âï¾ú´Ù.
¾ÆÁ÷Àº ¾Æ´ÏÁö¸¸ ȼº½Ã´Â ¿ÃÇØ ¸»±îÁö ÀÌ ±âÁØÀ» ÃæÁ·ÇÒ °æ¿ì °æ±âµµ ¼ö¿ø¤ý°í¾ç¤ý¿ëÀνÃ, °æ³² â¿ø½Ã¿¡ À̾î 2025³â 1¿ù Ư·Ê½Ã ÀÚ°ÝÀ» ¾ò°ÔµÈ´Ù.
Àα¸ Áõ°¡ ¿äÀÎÀº ȼº½Ã µ¿Åº ½Åµµ½Ã ÁÖº¯ »ï¼ºÀüÀÚ, ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ»ç, Çѹ̾àÇ°, Çö´ëÆ®·£½Ã½º µî ´Ù¾çÇÑ ±â¾÷µéÀÌ´Ù. ÀÌ·± »ç½ÇÀº ȼº½ÃÀÇ ÀÚ¶û°Å¸®´Ù.
¡ß °¡Àå Å« ´ÜÁ¡Àº ±³Åë¼ö´Ü, °í¼Óµµ·Î ÁöÇÏ¿¡ µµ·Î °Ç¼³
ȼºÀÇ Ã»³âµéÀº ÁÖ¸»ÀÌ¸é °³² µîÀ¸·Î °¡¼ ¹®È¿Í À¯ÈïÀ» Áñ±ä´Ù. À̶§ °³²À¸·Î ÇâÇÏ´Â ±³ÅëÆíÀº SRT¿Í ±¤¿ª¹ö½º´Ù.
À̵é Áß¿¡´Â °í¼ÒµæÃþÀÌ ¸¹¾Æ 40¸¸¿ø ³»¿ÜÀÇ ¹ÂÁöÄõµ °ü¶÷ÇÏ°í À̸§³ Ä«Æ䳪 À½½ÄÁ¡µîÀ» ã¾Æ ÀþÀ½À» Áñ±ä´Ù.
°¡Àå ºÒÆíÇÑ Á¡Àº ±³Åë ÆíÀÌ´Ù.
±×·¡¼ Á¤ºÎ´Â °æºÎ°í¼Óµµ·Î ÁöÇÏȸ¦ ÃßÁøÇß´Ù.
ÀÌ·± ¿ä±¸¿¡ ºÎÀÀ, Á¤ºÎ´Â µ¿Åº1¤ý2 ½Åµµ½Ã¼ ¼¿ï ÇâÇÏ´Â °æºÎ°í¼Óµµ·Î ÁöÇÏ ±¸°£ ¿Ï°øÇß´Ù.
µ¿Åº1¤ý2 ½Åµµ½Ã¸¦ ³²ºÏÀ¸·Î °¡¸£´Â °æºÎ°í¼Óµµ·Î ÁöÇÏÈ »ç¾÷ÀÌ ÁøÇàµÅ ¼¿ï ¹æÇâ ±¸°£ÀÌ Áö³ 24ÀÏ °³ÅëµÆ´Ù.
Áö»ó¿¡ °Ç¼³µÈ °í¼Óµµ·Î¸¦ ÁöÇÏ·Î ¸Å¸³ÇÑ ±¹³» ù »ç·Ê´Ù.
25ÀÏ ±¹Åä±³ÅëºÎ¿¡ µû¸£¸é °æºÎ°í¼Óµµ·Î µ¿Åº ºÐ±âÁ¡(JCT)~±âÈﵿź ³ªµé¸ñ(IC) ±¸°£ÀÌ Á÷¼±¤ýÁöÇÏÈ °ø»ç¸¦ ¸¶Ä¡°í ¿À´Â 28ÀÏ ¿ÀÀü 5½ÃºÎÅÍ »óÇà°ú ÇÏÇà ¸ðµÎ Á¤»ó ¿î¿µµÈ´Ù.
±¹ÅäºÎ¿Í Çѱ¹µµ·Î°ø»ç, Çѱ¹ÅäÁöÁÖÅðø»ç µîÀº 2017³â 3¿ùºÎÅÍ ÀÌ´Þ±îÁö ¹«·Á 4õ906¾ï¿øÀ» ÅõÀÔÇØ ±Á¾î ÀÖ´ø ±¸°£(4.7§°)À» ¶È¹Ù·Î Æì°í ÀϺÎ(1.2§°)´Â `°æºÎµ¿ÅºÅͳÎ`À» °Ç¼³ÇØ ¶¥¼ÓÀ¸·Î ¹¯´Â ÀÛ¾÷À» ÁøÇàÇß´Ù.
ȼº½Ã¹ÎµéÀÇ ¿À·£ ¼÷¿ø »ç¾÷Áß Çϳª¿´´ø GTX-A ³ë¼±ÀÇ ÀϺΠ±¸°£µµ °³ÅëµÈ´Ù.
¿Ã 3¿ùÀ̸é, ±¤¿ª±ÞÇàöµµ GTX-A ³ë¼±ÀÌ µ¿Åº¿ªÀ» °ÅÃÄ ¼ö¼¿ª±îÁö ºÎºÐ °³ÅëµÈ´Ù.
25ÀÏ ±¹Åä±³ÅëºÎ¿¡ µû¸£¸é ¿À´Â 30ÀÏ GTX-A ³ë¼± `¼ö¼~µ¿Åº` ±¸°£(34.9§°)ÀÌ º»°Ý ¿îÇà¿¡ µé¾î°£´Ù. ¼ö¼¿ª¿¡¼ µ¿Åº¿ª±îÁö `20ºÐ`¸¸¿¡ À̵¿ÇÒ ¼ö ÀÖ¾îÁø´Ù. `¼öµµ±Ç ÃâÅð±Ù 30ºÐ ½Ã´ë`°¡ ¿¸®´Â °ÍÀÌ´Ù.
Á¾Àü µ¿Åº ½Åµµ½Ã¿¡¼ ±¤¿ª¹ö½º¸¦ Ÿ°í ¼¿ï µµ½ÉÀ¸·Î 1½Ã°£ 30ºÐ µ¿¾È Ãâ±ÙÇß´ø Ãâ±Ù±æÀÌ 20ºÐ³»·Î °¡´ÉÇØÁø °ÍÀÌ´Ù.
|
ȼº µ¿Åº ½Åµµ½Ã ¾ÆÆÄÆ® ´ÜÁö. |
¡ß °í¼Òµæ û³âÃþ ´Ù¼ö
ȼº½Ã¿¡´Â »ï¼ºÀüÀÚ ÀÌ¿Ü¿¡µµ Æò±Õ¿¬ºÀ 7õÀÌ ³Ñ´Â Çѹ̾àÇ° ¿¬±¸¼¾ÅÍ°¡ ÀÖ´Ù. ¼ÒºÎÀå ±â¾÷µµ ÀÌ°÷¿¡ ÁýÀûÇØ ÀÖ´Ù. »ï¼ºÀüÀÚÀÇ °©À̶ó ºÒ¸®´Â ÀÌµé ¼ÒºÎÀå ±â¾÷ÀÇ ½ÅÀÔ»ç¿ø Æò±Õ ¿¬ºÀÀº 5~6õ, ±³´ëÁ÷±ºÀº 7~8õ Á¤µµ°¡ µÈ´Ù.
µµ½Ã Àüü°¡ ÀÌ·± °í¼Òµæ û³âµé·Î ³ÑÄ£´Ù. °¡È÷ û³âµéÀÇ Ãµ±¹ÀÌ´Ù. ÀÏÀÚ¸®°¡ ³ÑÄ¡´Ï û³âµéÀÌ ¸ô¸®´Â Çö»óÀÌ À̾îÁø´Ù.
ÀÏÀÚ¸®°¡ dzÁ·ÇÏ°í ±³Åë ÀÎÇÁ¶ó°¡ °®Ãß¾îÁø °÷, ¹Ù·Î °æ±â ȼº½Ã ¸ð½ÀÀÌ´Ù.
»çÁ¤ÀÌ ÀÌ·¯´Ï Áö¹æÀÇ, Áö¿ªÀÇ ÀÎÀçµéÀº µµ½Ã·Î, ÀÏÀÚ¸®¸¦ ãÀ¸·¯ ¶°³´Ù. ±×¸®°í µµ½Ã¼ ÀÚ¸®¸¦ Àâ°í »ýÈ°ÀÇ ÅÍÀüÀ» ¸¶·ÃÇÏ°í ÀÖ´Ù. ÀÌ·¯´Â »çÀÌ Áö¿ªÀº ºñ¾î°¡°í ÀÖ´Ù. °á±¹ û³âµéÀÌ ¶°³ª´Â ÀÌÀ¯´Â ¹Ù·Î ÀÏÀÚ¸®´Ù.
/±èµ¿Ãâ ±âÀÚ